纳米定位平台
作者:上银

纳米定位平台 ,拥有高稳定结构设计,纳米级伺服控制水平,并搭配软件方案,提升整体设备精度,完美呈现机、电、软件高度整合力,满足半导体设备提升需求。● 纳米级定位:适用高阶精密检测仪器,达成各项精细检测任务,符合产业应用持续升级趋势。● 稳定运动控制:拥有完整路径规划功能,搭配自动调适,展现稳定运动控制,发挥极致动态性能。● 智能制造:透过智能模块即可轻松实现稳定制程,减少非预期停机损失。● 整合关键技术:透过各项软、硬件技术提升、整合,降低使用者设备升级之成本压力。

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